静电卡盘表面反应区的温度对稳定工艺至关重要，电子式温度传感器的测温稳定性和精度容易受电磁干扰。刻蚀机反应区存在较强射频场，射频场的磁场干扰会影响电子式温度传感器的稳定性，进而对静电卡盘的温度控制带来不稳定性。荧光温度传感器是使用稀土荧光物质的光学物性来测量温度的光学测温方式，性能不受电磁干扰，结构无导体，还可使用非接触测量，测量手段本身不传导热量，不影响热控。